Dieser Online-Shop verwendet Cookies für ein optimales Einkaufserlebnis. Dabei werden beispielsweise die Session-Informationen oder die Spracheinstellung auf Ihrem Rechner gespeichert. Ohne Cookies ist der Funktionsumfang des Online-Shops eingeschränkt. Sind Sie damit nicht einverstanden, klicken Sie bitte hier. x
Menü
Artikel 101 von 278 Zurück zur Übersicht
CHARMA
CHARMA

Messtechnik für die fertigungsgerechte Charakterisierung magnetischer Mikrobauteile

Institut für Mikrotechnologie der Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover (Hrsg.)

ISBN 978-3-941417-35-9 2011 | Softcover, fbg. | 154 S., dt.

Art.-Nr.: 126219

Blick ins Buch  |  Cover als JPEG


Die Bestimmung der magnetischen Eigenschaften dünner magnetischer Filme auf Waferniveau zu ermöglichen, war die Hauptaufgabe des Verbundprojektes "Messtechnik für die fertigungsgerechte Charakterisierung magnetischer Mikrobauteile" (CHARMA).
Damit erhält der Hersteller von magnetischen Mikrosensoren bereits während der Fertigung die Möglichkeit zur Qualitätssicherung bei dünnen magnetischen Schichten. Hierzu wurde ein Hysteresemesssystem entwickelt, bestehend aus mikrotechnisch gefertigtem Wandler, Ansteuerung und hochempfindlicher Auswertung.
Das System gestattet, anisotrope Schichteigenschaften zu erfassen. Neben Aktivitäten in magnetischer Mikromesstechnik wurden ferner Verfahren entwickelt, mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahls (Focused Ion Beam – FIB) Bauteile an der Oberfläche aufzuschneiden und geometrische Eigenschaften zu bestimmen. Damit steht eine in-situ-Messmöglichkeit bei der Fertigung von magnetischen Bauteilen zur Verfügung.